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美國API激光干涉儀特點信息
更新時間:2025-12-05   點擊次數(shù):30次

API激光干涉儀是實驗室和工業(yè)環(huán)境中的高精度測量解決方案,專為長度、角度和直線度測量設計,精度可達納米級,滿足光學元件、半導體制造等領域的超精密需求。該設備基于激光干涉原理,通過檢測光程差變化,實現(xiàn)非接觸式測量,在短距離內(如1米)精度優(yōu)于±0.1微米,確保微米級工件的精度。其核心特點包括:

  • 高分辨率與穩(wěn)定性:采用波長級測量技術,對微小位移敏感,適用于校準精密機床和光學系統(tǒng)。

  • 環(huán)境適應性:內置溫度補償和減震設計,減少空氣擾動和振動影響,保證數(shù)據(jù)一致性。

  • 多功能應用:支持一維至三維測量,如評估光學鏡面平整度或半導體晶圓定位,提升產品良率。

在實踐場景中,API激光干涉儀成為研發(fā)和質量控制的基石。例如,在半導體制造中,它用于校準光刻機,確保芯片圖案的精確復制;在科研領域,則助力光學實驗,驗證理論模型。其自動化數(shù)據(jù)采集功能簡化操作流程,推動技術創(chuàng)新和產業(yè)升級。


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